光学薄膜是指控制光束行为的薄膜。在光学系统中,几乎所有的光学零件都需要使用光学薄膜改变其透射或反射特性。光学薄膜按应用分为反射膜、增透膜、滤光膜、光学保护膜、偏振膜、分光膜、导电膜等。
光学薄膜的作用:
1.提高光学效率、减少杂光。如减反射膜(AR)、高反射膜(HR)。
2.实现光束的调整或再分配。如分束膜、分色膜、偏振分光膜就是根据不同需要进行能量再分配的光学元件。
3.通过波长的选择性透过提高系统信噪比。如窄带及带通滤光片、长波通、短波通滤光片。
4.实现某些特定功能。如ITO透明导电膜、憎水膜、透明超硬膜等。
光学镀膜:
光学镀膜是指在光学零件表面上镀上一层(或多层)金属(或介质)薄膜的工艺过程。在光学零件表面镀膜的目的是为了达到减少或增加光的反射、分束、分色、滤光、偏振等要求。常用的镀膜法有真空镀膜(物理镀膜的一种)和化学镀膜。
薄膜堆积原理:
光学薄膜是由高折射率和低折射率的材料层交替组成的,其工作原理是利用光的干涉来增强一个或多个波长的透射,或者优先反射,或者传输一个偏振,完成这些任务的涂层有时会包含几十层,甚至上百层,并且是由许多不同折射率的材料组成的。
真空镀膜技术
镀制光学薄膜的沉积技术很很多种,不同的镀制工艺会对膜层的稳定性、耐久性、激光损伤阈值、内应力等方面的影响也不同。真空镀膜技术首先强调的是真空,其次是镀膜。光学镀膜常用的镀膜方法,即热蒸发、离子辅助沉积(IAD)、离子束溅射(IBS)和磁控溅射等。
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